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晶圆专用接触角测量仪有哪些优势?

发布时间:2023-04-25 点击次数:1291

  在半导体晶圆材料的生产和制造过程中,表面的润湿性是至关重要的。例如,当晶圆上的微电子器件需要被沉积或镀膜时,若表面润湿性不良,则会导致涂层厚度不均或成膜缺陷等问题。此外,半导体材料的润湿性还与其附着性、耐热性、耐化学性等性能密切相关。

  为解决半导体材料表面润湿性的问题,我们推荐使用晶圆专用接触角测量仪。晶圆专用接触角测量仪是一种基于接触角原理的测试仪器,可以测量材料表面的润湿性和表面自由能等参数。这些参数可以用于评估材料的化学和物理性质,以及优化制造工艺和生产流程。接触角测量仪通过将液体滴在样品表面,然后测量滴在表面上的液滴形状,来计算接触角。通过测量不同液体的接触角,可以得到半导体晶圆的表面自由能、表面能、亲水性和疏水性等重要参数。

  为此北斗仪器专为晶圆深度定制的一台全自动接触角测量仪,广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究,是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。下面是北斗仪器晶圆专用接触角测量仪的五大优势:

1样品台专为晶圆设计,可适应6-12寸的晶圆,具备四向对中功能。

2矩阵型多点测试,测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。

3一次测试点位多达50+,可在原图上直接显示数据并保存。

4测试结果可直接保存在阵列图上。

5批量方案设置功能,可保存多个测量方案,一次保存,终身无需再设定。可随时调取。

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