自动接触角测量仪可判断晶圆表面是否达标

  半导体晶圆生产要求品质是非常高的，晶圆表面上的任何瑕疵污渍都会造成芯片的损失，所以需要用接触角测量仪检测晶圆表面润湿性等来判断晶圆表面是否达标。北斗仪器接触角测量仪专为晶圆深度定制的一台全自动接触角测量仪，广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究，是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。

  晶圆专用接触角测量仪样品台可适应6-12寸的晶圆，具备四向对中功能。矩阵型多点测试，测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。一次测试点位多达50+个,可在原图上直接显示数据并保存。测试结果可直接保存在阵列图上。批量方案设置功能，可保存多个测量方案，一次保存，终身无需再设定。可随时调取。

1、精细机械：系统的框架选用高质量的进口高强度氧化保护铝型材并烤漆处理，所有的其它主要组件也都是由铝合金，不锈钢和铜合金通过精密制作而成。保证仪器极强的稳定性。

2、精密定位：系统所有的线性移动单元，包括三维样品台（xy-轴），(Z-轴)注射器/针头的移动调节，均是由直线铜齿条和精密燕尾槽驱动，确保传动平稳、轻松和精细。

3、成像系统：采用了行曝光高分辨率CMOS图像传感器配合0.7-4.5远心轮廓镜头。保证最佳的成像效果。同时亮度连续数字可调的高强度背光冷光源为成像提供了均匀的背景照明。优质镜头和高分辨率相机能够以理想的尺寸和亮度在图像中显示出液滴，即使是非常小的液滴。

4、领先的软件平台：软件是整个测量系统的灵魂和大脑。CAV2.0软件为用户提供了范围广泛的功能和特性，而且其中的许多项目在这一领域均是出类拔萃。作为一光学方法，测量的精度取决于成像的质量和后着的处理、分析和计算方法。

5、提供德国进口的接触角测量校准样，确保仪器的精准性，角度校准标准片5°、8°、30°（选配）；60°、90°、120°（选配）。

6、国内首创基线自动倾斜功能，可修正由于样品倾斜或机台倾斜时的差异。

7、动态拍摄、视频快速测试数据，可以连续性记录测试接触角的变化，再由软件自动批量拟合。

  简单点说就是使用晶圆专用接触角测量仪测量晶圆材料表面的铺展、渗透、吸收等润湿行为，测量静、动态接触角、测量分析固体的表面自由能、液体的界面和表面张力、全自动注射系统、前进后退角、滚动滑落角等全面功能。